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技術(shù)文章

如何選擇管式爐?

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如何選擇管式爐?
1、了解您的應(yīng)用程序
單區(qū)與多區(qū):多區(qū)爐具有多個(gè)獨(dú)立控制的恒溫區(qū),允許受控的溫度梯度或較長的加熱區(qū)。
水平(標(biāo)準(zhǔn))與垂直:垂直管爐提供較小的占地面積,可用于快速加熱/淬火過程
RTP(快速熱處理):可滑動(dòng)的樣品保持器或加熱爐
高壓/真空爐:特殊設(shè)計(jì)的高溫高壓真空處理用不銹鋼或高溫合金管
旋轉(zhuǎn)管式爐:加熱過程中旋轉(zhuǎn)管以提高粉末加工/涂層均勻性
氣體處理能力:可用于氫氣處理和高溫腐蝕研究的特殊模型
多功能:基于管式爐的完整系統(tǒng),如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生長系統(tǒng)等
 
2、選擇工作溫度
請注意有高溫度(可維持1小時(shí))和連續(xù)工作溫度(安全,連續(xù)使用溫度)高工作溫度取決于所用的加熱元件,可分為四類
a.250~1250°C Fe-Cr-Al或Ni-Cr-Al合金加熱元件K型熱電偶
b.1300~1600°C SiC加熱元件S型熱電偶
c.1600~1800°C MoSi2發(fā)熱元件B型熱電偶
d.1800~2000°C石墨或W加熱元件C型熱電偶

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